Halvledarkomponenter - Mikromekaniska komponenter - Del 25: Kiselbaserad tillverkning av MEMS - Mätning av drag-tryck- och skjuvningshållfasthet hos mikrobondade ytor
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area